半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注目

両面の水洗浄が可能な4、6インチウエハ向け洗浄装置

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8インチウエハ向け試作評価向けCMP装置
グローバルネット株式会社

注目

高剛性 幅広いCMP開発に対応可能。

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スマートフロー ドライブレイク・カップリング

セインジャパン株式会社

冷却効率を向上・液だれのない大口径ドライブレイク クイック・カップリング

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全面膜厚測定ユニット

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間300,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック…

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SCP-SX

株式会社SHINCRON

半導体・電子部品・PIC市場向けスパッタリング装置

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CanTops_Smart Factory 要素部品

株式会社世奉

”世界最高の技術力と製品でお客様にいつも最高で認められる企業に発展しよう。” Can(出来る)+Tops(第一人者、最高人)の合成語

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Solid Source Delivery System(固体供給システム)AcroStarⓇ

株式会社高純度化学研究所

有機金属化合物(消防法危険物 第三類該当)のように発火の危険性がなく、膜中にカーボンが残留しない固体塩化物を安定的に連続気化可能な供給装…

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3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

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3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット

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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

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SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…

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半導体、FPD装置向けFFU (Fan filter Unit)

株式会社世奉

創造的な考えと情熱、革新と挑戦でより良い未来を開きます。

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」

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交換式ゴムコレット(交換式ラバーチップ)

有限会社オルテコーポレーション

3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善

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EUVリソグラフィ市場規模、シェア分析、メーカー2033

KD Market Insights Private Limited

EUVリソグラフィの世界市場規模は、2033年までに437億米ドルに達すると予測されています。

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永久磁石モーター市場規模、シェア、メーカー、予測成長レポート(2024年~2033年)

SurveyReports.jp

永久磁石モーター市場は、2033年末までに932億米ドルの市場規模を超えると予想される。市場規模は2023年に435億米ドルと評価され、2024年から203…

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電源管理集積回路(PMIC)市場規模、シェア、メーカー、予測成長レポート(2024年~2033年)

SurveyReports.jp

電源管理集積回路(PMIC)市場は、2033年末までに583.1億米ドルの市場規模を超えると予想される。2023年の市場規模は269.3億米ドルであり、2024年…

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子供向けスマートウォッチ市場規模、シェア、メーカー、予測成長レポート(2024年~2033年)

SurveyReports.jp

子供向けスマートウォッチ市場は、2033年末までに46億米ドルの市場規模を超えると予想される。市場規模は2023年に13億米ドルと評価され、2024年…

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半導体パッケージ市場の規模、メーカー、分析、2034年予測

SurveyReports.jp

半導体パッケージング市場は、技術の進歩、民生用電子機器の需要増加、モノのインターネット(IoT)機器の世界的な普及により急速に拡大している…

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産業用半導体の世界市場 - 2034年までの産業動向、成長、予測

SurveyReports.jp

産業用半導体市場は、自動化の進展、IoTの進歩、効率的なエネルギー管理ソリューションに対する需要の高まりによって急速な成長を遂げている。

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半導体ウェーハ研磨市場:タイプ別(半導体ウェーハ研磨装置、半導体ウェーハ研磨市場、その他)、用途別(シリコンウェーハ、SiCウェーハ、その他)、エンドユーザー別(ファウンドリ、メモリメーカー、IDMS、その他)、地域別 - 2024-2033年の世界市場分析、動向、機会、予測

SurveyReports.jp

世界の半導体ウェハー研磨市場は2023年に4億3100万米ドルと評価された。同市場は2024年から2033年にかけて年平均成長率5%で拡大し、2033年末には…

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搬送キャリア

東洋精密工業株式会社

チップ搬送用のトレイ

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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精密研磨装置 MAシリーズ

ムサシノ電子株式会社

試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…

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UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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FlexAL(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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Atomfab(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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PFSシリーズ

株式会社アルバック

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

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SOPHI-200/260

株式会社アルバック

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

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SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置(中電流イオン注入装置)

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

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CE-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

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Luminous NAシリーズ

株式会社アルバック

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…

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CC-200/400

株式会社アルバック

ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

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CME-200/400

株式会社アルバック

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

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CMDシリーズ

株式会社アルバック

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

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CS-L

株式会社アルバック

 実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

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CS-200

株式会社アルバック

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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ACS-4000

株式会社アルバック

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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ULDiSシリーズ

株式会社アルバック

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…

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SXシリーズ

株式会社アルバック

 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置

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MLX-3000N

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

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SEC-N100シリーズ

株式会社堀場エステック

汎用モデルデジタルマスフローコントローラ

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Vision LEAP Loadport

Brooks Automation Inc.

同社の最新ロードポート

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Spartan Sorter

Brooks Automation Inc.

高信頼性・高生産性のEFEM/ソータ―

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MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

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MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

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MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

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MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット

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真空対応 AR-Wnシリーズ:AR-Wn220VDCL-4-T-100

平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

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真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

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TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

Kokusai Electric株式会社

プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。

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MARORA

Kokusai Electric株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

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Lambda300

Kokusai Electric株式会社

ダメージレスなプラズマ処理と高速アッシングを実現した枚葉式アッシング装置

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AD3000T-PLUS

株式会社東京精密

12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン 当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Co…

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HRG200X

株式会社東京精密

全自動高剛性2軸研削盤

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UF3000EX-e

株式会社東京精密

ハイ・コスト・パフォーマンス 300mm プロービングマシン

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マイクロLED用ボンダー TFC-6000M

芝浦メカトロニクス株式会社

マイクロLEDをバックプレーンへ実装するボンダーです。

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DC24V専用LEDランプ MT018D24N 昼白色(色温度5000K) 6形(180mm) 400Lm 消費電力2.8w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

薄型軽量、取付簡単、狭いスペースなど灯具が付けられない場所に最適

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DC24V専用LEDランプ MT028D24N 昼白色(色温度5000K) 10形(280mm) 680Lm 消費電力4.7w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

薄型軽量、取付簡単、狭いスペースなど灯具が付けられない場所に最適

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DC24V専用LEDランプ MT056D24N 昼白色(色温度5000K) 20形(560mm) 1390Lm 消費電力9.6w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

薄型軽量、取付簡単、狭いスペースなど灯具が付けられない場所に最適

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DC24V専用LEDランプ MT081D24N 昼白色(色温度5000K) 32形(810mm) 1740Lm 消費電力12w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

薄型軽量、取付簡単、狭いスペースなど灯具が付けられない場所に最適

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DC24V専用LEDランプ MT120D24N 昼白色(色温度5000K) 40形(1210mm) 2430Lm 消費電力16.8w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

薄型軽量、取付簡単、狭いスペースなど灯具が付けられない場所に最適

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DC24V専用LEDランプ MT056D24YM イエローミルキー 20形(560mm) 600Lm 消費電力7w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT028D24YM イエローミルキー 10形(280mm) 300Lm 消費電力3.5w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT018D24YM イエローミルキー 6形(180mm) 210Lm 消費電力2.5w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT056D24YC イエロークリア(高輝度タイプ) 20形(560mm) 1000Lm消費電力9.6w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT120D24YC イエロークリア(高輝度タイプ) 40形(1210mm) 1800Lm 消費電力16.8w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT081D24YM イエローミルキー 32形(810mm) 850Lm 消費電力10w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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DC24V専用LEDランプ MT120D24YM イエローミルキー 40形(1210mm) 1300Lm 消費電力15w (※LEDランプのみ、電源別)

株式会社ティーネット

感光材が反応する500nm以下の光をカット。半導体クリーンルーム等に最適 薄型軽量、狭いスペースなど灯具が付けられない場所におすすめ

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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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Signatone社製プローブステーション『WL-310』

阪和トレーディング株式会社

世界中の研究所、企業現場で採用されているSignatone 社の300mmサイズ対応マニュアルプローバ。

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Signatone社製プローブステーション『H-150』

阪和トレーディング株式会社

Signatone 社製 小型、エコノミーモデル。

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Signatone社製プローブステーション『WL-1160』

阪和トレーディング株式会社

世界中の先端研究所、企業現場で評価、採用されているSignatone 社プローバのエントリーモデル

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CPM1080

TOWA株式会社

フルオート・コンプレッションモールディング装置

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YPM1250-EPQ

TOWA株式会社

チップレット製品に対応した新モールディング技術「レジンフローコントロール方式」を採用したモールディング装置

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YPM1180

TOWA株式会社

トランスファモールディングの主流装置、180トンのクランプ能力で大判リードフレームも成形可能

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WCM-330

アピックヤマダ株式会社

全自動WLPモールディング装置

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