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UF3000EX-e

株式会社東京精密
最終更新日: 2024年05月30日

ハイ・コスト・パフォーマンス 300mm プロービングマシン

高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。
従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、更に操作性を向上させました。
各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。 

基本情報

①QPU超高剛性チャック
高い位置決め精度を効率良く再現するには、各部の剛性が非常に大きな役割を担います。
UF3000ではZ軸に新技術の4軸駆動機構(QPU)を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを実現しています。
②8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環境を提供いたします。
③ロードポートロードポートMHS(Automated Material Handling System)にも対応。
④TTG (Touch To Go)
UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや画像に触れた場所に移動できる機能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による画面構成を可能としています。

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取扱企業

株式会社東京精密

業種:繊維  所在地:東京都 八王子市石川町 2968-2

最先端の精密測定技術と精密加工技術で半導体業界に貢献

半導体製造装置分野では、ダイシング装置、バックグラインディング装置、ウェーハプロセス装置などを国内外の半導体製造装置企業に提供している。自社で培ってきたコア・テクノロジーを基盤に、共通の目的を持つパートナーとの密接な関係を構築することで、世界最先端の技術と開発をスピードアップし世界 No.1の製品開発体制を構築する。

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