カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
UF3000EX-e
ハイ・コスト・パフォーマンス 300mm プロービングマシン
高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。
従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、更に操作性を向上させました。
各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。
基本情報
①QPU超高剛性チャック
高い位置決め精度を効率良く再現するには、各部の剛性が非常に大きな役割を担います。
UF3000ではZ軸に新技術の4軸駆動機構（QPU）を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを実現しています。
②8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環境を提供いたします。
③ロードポートロードポートMHS(Automated Material Handling System)にも対応。
④TTG (Touch To Go)
UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや画像に触れた場所に移動できる機能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による画面構成を可能としています。
取扱企業
株式会社東京精密
業種：繊維 所在地：東京都 八王子市石川町 2968-2
最先端の精密測定技術と精密加工技術で半導体業界に貢献
半導体製造装置分野では、ダイシング装置、バックグラインディング装置、ウェーハプロセス装置などを国内外の半導体製造装置企業に提供している。自社で培ってきたコア・テクノロジーを基盤に、共通の目的を持つパートナーとの密接な関係を構築することで、世界最先端の技術と開発をスピードアップし世界 No.1の製品開発体制を構築する。
UF3000EX-e へのお問い合わせ
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UF3000EX-e
