そり
英語表記：sori, bow, warp
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そり制御装置
英語表記：sori control system
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ソースキャビネット
英語表記：source cabinet
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ソースマグネット
英語表記：ion source magnet
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ソープションポンプ
英語表記：sorption pump
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ソケット式コンタクト
英語表記：socket type contact
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ソフトランディング
英語表記：soft landing
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ソルダマスク
英語表記：solder mask
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ソルダレジスト
英語表記：solder resist
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ソルダ封止装置
英語表記：solder sealing
equipment
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塑性変形
英語表記：plastic
deformation
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疎水性
英語表記：hydrophobicity
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疎水性表面
英語表記：hydrophobic surface
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疎密形状差
英語表記：difference in profile between isolated and nested
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疎密効果
英語表記：effects of pattern density
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粗じん用エアフィルタ
英語表記：coarse particle air
filter
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粗研
英語表記：coarse grinding
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粗粒
英語表記：grain grits macro grits
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素材移動ストローク
英語表記：material lift travel
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素子分離用絶縁膜
英語表記：isolation dielectrics
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組成制御
英語表記：control of composition
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層間絶縁膜
英語表記：ILD : Inter - Level Dielectric、
IMD : Inter-Metal Dielectric
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層間絶縁膜
英語表記：inter-layer dielectrics
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層間絶縁膜形成方法と特性
英語表記：ILD deposition and ILD characteristics
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捜査式投影露光装置
英語表記：scanning projection aligner
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挿入型パッケージ
英語表記：through-hole mount type package, insertion type package
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挿抜機 インサータリムーバ ローダアンローダ
英語表記：inserter remover
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槽間移送時間
英語表記：bath-to-bath transport time
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相関二重サンプリング CDS
英語表記：correlated double
sampling
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相互拡散
英語表記：interdiffusion
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相対湿度
英語表記：relative humidity
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相対速度
英語表記：relative velocity
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総型方式面取り加工
英語表記：form chamfering
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総合インデックススピード
英語表記：total index speed
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総合タイミング精度 OTA
英語表記：overall timing
accuracy
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総量規制
英語表記：total quantity
restriction
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装置信頼性
英語表記：equipment reliability
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装置整備性
英語表記：equipment
maintainability
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装置有用性
英語表記：equipment
availability
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走査ステップ式投影露光装置
英語表記：step-and-scan projection aligner
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走査型オージェ電子顕微鏡 SAM
英語表記：scanning Auger electron microscope
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走査型トンネル顕微鏡（STM）
英語表記：STM: Scanning Tunneling Microscope
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走査型トンネル顕微鏡法 STM
英語表記：scanning tunneling microscopy
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走査型プローブ顕微鏡 SPM
英語表記：SPM: Scanning Probe Microscope
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走査型電子顕微鏡 SEM
英語表記：scanning electron microscope
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走査型電子顕微鏡法
英語表記：scanning electron microscopy
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走査透過型電子顕微鏡 STEM
英語表記：scanning transmission electron microscope
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側壁スペーサ
英語表記：side-wall spacer
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側壁保護膜
英語表記：Sidewall Protection Film
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側壁保護膜
英語表記：sidewall passivation films
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側壁保護膜
英語表記：sidewall
protection film
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測長走査型電子顕微鏡法
英語表記：critical dimension scanning electron microscopy
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速度オーバシュート
英語表記：velocity overshoot
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