カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
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- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
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- 薬液用ポンプ
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- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
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- リニアモータ搬送システム
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- マスクブランクス
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- g・i線レジスト／現像液
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- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
表面電位測定による多結晶Ge 薄膜の粒界特性評価
筑波大、前田 真太郎
Ge薄膜
基本情報
Geは狭バンドギャップで優れたキャリア輸送特性を持ち、太陽電池やトランジスタへの応用が期待されている。本研究では固相成長法を用いて絶縁体上に多結晶Ge薄膜を合成し、キャリア移動度の向上を目指した。粒界密度の低減やポテンシャル障壁の低減を試みたものの、粒界への理解は不十分であった。表面電位測定により、多結晶Ge薄膜の粒界特性を調査し、p型では高く、n型では低い表面電位が粒界において観察された。これは、粒界が電気的活性が低く、ポテンシャル障壁が低いことを示している。また、非晶質前駆体の加熱堆積により大きな結晶粒が得られ、結晶粒径と粒界に対応した表面電位のコントラストが観察可能になった。この研究は、Ge薄膜の粒界特性の理解と制御に貢献し、高機能なデバイスへの応用が期待されている。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央地区 港区 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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表面電位測定による多結晶Ge 薄膜の粒界特性評価
