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Ultra

CMC Materials
最終更新日: 2022年09月16日

Element padを超えた高い歩留まりと低い欠陥率

Ultra パッドは、Element パッドの低欠陥の利点を維持しながら、幅広く調整可能な硬度、空間率、および圧縮率を提供し、高除去、平坦化、および低欠陥率の間のトレードオフを排除する画期的な方法を提供し、より高い除去率とパフォーマンスの安定性を促進します。

基本情報

なし

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取扱企業

CMC Materials

業種:化学 1595 メドウウッドレーン # 2 リノ、ネバダ州 89502 

世界最大のCMP用スラリーメーカ

旧Cabot Microelectronics社。2020年10月から現社名となった。2022年7月には米Entegris社に買収されている。全プロセス向けのCMPスラリーを展開しているが、特にWプロセス向けでは圧倒的なシェアを占めている。売上高は2021年12月期のもの。

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