カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
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- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
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- 真空バルブ
- オーリング
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- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
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- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
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- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
㈱クマクラ 超音波振動テーブル Assist
超音波援用加工で微細加工を一歩前に！
超音波振動により加工抵抗の減少、切り屑の排出が円滑に行えます。
よって従来の加工技術では困難だった硬脆性材料・難加工材料の小径穴加工・小径溝加工・形状加工・切断加工を高品質にします。
また、加工効率・工具寿命の点でも約30%UPの効果が期待できます。
ワーク側振動により、工具側振動と違い工具形状を選びません。
加振水槽は溶液キャビテーションが切り屑の排泄効果を発揮します。
発信機はBLTを用いた振動系の共振周波数を自動追尾します。
不可変動に関わらずテーブル上面の振幅設定値常に一定制御できる機能を持っています。
基本情報
■システムの構成
ワーク固定 真空吸着方式(A) テーブル⾯平⾏度 0.01mm以内
テーブル⾯大きさ 型式UST-150-20K 150mm×150mm ※その他特注対応
本体寸法 型式UST-150-20K 150(W)×150(D)×123(H)mm
■専用発信器
出⼒電⼒ 150VA/250VA 振動振幅範囲 1um〜6um
電源電圧 単相AC100V±10% 発振周波数 20±1.5kHz
アラーム回路 電源回路異常，過負荷，BLTの断線など
発振方式 PLL周波数自動追尾方式
発信器寸法 135(W)×350(D)×200(H)mm
■付属品
標準付属品 AC電源ｹｰﾌﾞﾙ･ﾘﾓｰﾄ制御用ｹｰﾌﾞﾙ･発信器接続ｹｰﾌﾞﾙ･専用ｱﾙﾐｹｰｽ
特別付属品 真空ﾎﾟﾝﾌﾟ･ｵｰﾄﾄﾞﾚﾝ･ﾒｶｸﾗﾝﾌﾟ･L型ﾌﾞﾛｯｸ･スペシャルタンク
| 価格帯 | 100万円以上 500万円未満 |
|---|---|
| 納期 | 先ずはお問合せ下さい。 |
取扱企業
ユアサネオテック株式会社
業種：商社・卸売り 所在地：東京都 千代田区神田美土代町 9-1 MD神田ビル5F
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㈱クマクラ 超音波振動テーブル Assist
