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PlasmaPro 100 ALE

Oxford Instruments
最終更新日: 2023年10月19日

Atomic Layer Etching(ALE)装置

PlasmaPro 100 ALEは、下記のような特別なハードウェアで、これ実現しています:

・高精度に制御したガス注入
・低RF出力供給と優れた再現性
・高速PLCによる高速スイッチング

これらの要素により、原子スケールの高精度エッチングが可能となります。

基本情報

主なアプリケーション

III-V族のエッチング
固体レーザー(SSL)の InPエッチング
VCSEL GaAs/AlGaAsのエッチング
RF device low damage GaN etch
ボッシュプロセスとクライオエッチング
DLCの成膜
SiO2と石英のエッチング
フォトニクス、誘電体層、パッシベーションおよび他の様々な用途向けのSiNおよびSiO2の高品質なPECVDプロセス
高輝度LED生産用ハードマスク成膜とエッチング

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取扱企業

Oxford Instruments

業種:産業用機械 Abingdon, Tubney Woods, United Kingdom, and has 13 office locations. 

半世紀を超えて、世界の物理・生命科学分野に多彩なコアテクノロジーを提供し続けるグローバルカンパニー

オックスフォード・インストゥルメンツは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡り、以来長年にわたり、イノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・次世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学までアプリケーションは幅広く、当社はそのコア技術を通じて、よりグリーンな世界をめざすお客様の取り組みを支援しています。

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