カテゴリー
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- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
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- エッチングガス
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- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
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- ポリイミド樹脂
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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コンタクトレスPEC エッチングを用いたGaN ナノワイヤ作製におけるマスク材料の検討
北大、古内 久大
光電気化学エッチング
基本情報
光電気化学(PEC)エッチングは、GaNの低損傷加工に用いられる技術で、電解液と半導体界面での酸化反応を制御してエッチングを行う。配線が不要なコンタクトレスPEC(CL-PEC)エッチングも開発され、GaNナノワイヤ(NW)の製造に応用されているが、エッチング後のNW側面の平滑化に課題がある。本研究では、従来のTiマスクに代わりCrマスクを使用したCL-PECエッチングによるNW製造を行い、マスク材料の違いがエッチング結果に与える影響を検討した。CrマスクはTiマスクと同等のエッチングレートを示し、アルカリ溶液処理後にはTiマスクよりもアンダーカットが少なく、垂直性の高いNWが形成された。この違いはマスク材料のPECエッチングおよびアルカリ溶液に対する耐性の差によると考えられる。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
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