カテゴリー
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- RF電源／その他電源
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- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
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- パッドコンディショナ
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- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
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- 液晶材料
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- ポリイミド樹脂
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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スパッタ法によるAlN ナノロッドの作製及び圧電特性の向上
東京理科大、宋 俊東
ナノロッド
基本情報
圧電・強誘電体ナノロッドアレーは、その優れた電気特性と電気機械特性のため注目されている。物理蒸着法に基づく「射影効果」を利用したナノロッドの成長方法は、テンプレート不要で高品質なロッドアレーを作製できるが、スパッタ法では高圧力での堆積が困難である。本研究ではナノメッシュを用いて粒子の自由行程を短くし、スパッタ法でAlNナノロッドアレーを成功裏に作製した。作製されたナノロッド上の圧電応答評価から、圧電定数d33は7.30 pm/V、体積比78.5%、比誘電率6.32と見積もられ、Pb(Zr
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区湊 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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スパッタ法によるAlN ナノロッドの作製及び圧電特性の向上
