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- エッチングガス
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- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
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- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
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- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- ガラス基板（OLED用）
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- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
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- ポリイミド樹脂
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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DHF を用いた窒化膜のウェットエッチングプロセスにおけるデータドリブンな予測モデル
東大工、柴田 行輝
ウエットエッチング
プロセスシミュレーション
基本情報
本研究では、DHFを用いた窒化膜（Si?N?）のエッチングにおいて、ノズル走査パターンとウェハ回転速度を系統的に変化させ、エッチングレート（ER）の分布を解析した。ウェハの均一なエッチングにはパラメータの最適化が必要であり、データドリブンモデルを提案、走査周期が短いほど中心付近のERが増加することを平方根依存の関数で表現した。さらに、ER分布を高精度に予測し、最適な走査周期を導き出せるモデルを構築、ウェハごとのばらつきを考慮し、外挿性能の高さも確認した。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 港区中央 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2025年には創業35年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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DHF を用いた窒化膜のウェットエッチングプロセスにおけるデータドリブンな予測モデル
