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- 接着剤 接着テープ
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- マスク基板
- マスクブランクス
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- フォトレジスト、現像液
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
FIBによる微小対象物(ICコンタクト部)の断面作製
FIBで微小対象物(例：ICコンタクト部)の任意の箇所に断面を作製可能です
弊社保有のFIBFIB(Focused Ion Beam：集束イオンビーム)装置では、0.1μm程度の対象物であれば、狙って断面を作製することが可能です。
この技術を用いて、正確な位置でのTEM観察用薄片試料の作製が行えます。
この事例では
「FIB装置によるICコンタクト部の断面作成・断面観察」
を紹介します。
ぜひPDF資料をご一読ください。
また、弊社はFIBによるICおよびLSIの回路修正を目的とした配線修正も強みとしております。
具体的には以下のとおり
・配線の切断
・配線の接続
・特性評価用のテストパッドの作製
等を短納期で行い、お客様のICおよびLSI開発のお手伝いをさせていただいています。
その他、FIBの関連技術として
『FIBによるめっき層内の異常個所発見方法』
の事例があります。
FIB装置のご活用についてお気軽にご相談いただければ幸いです。
※詳細が必要であればお気軽にお問い合わせ下さい。
セイコーフューチャークリエーション 公式HP
https://www.seiko-sfc.co.jp/
基本情報
●目的:微小対象物の任意の箇所に断面を作製
●手法:FIB断面観察
●結果:直径0.2μmの対象物の中央に断面作製が可能
| 価格帯 | 加工対象によって変わりますのでご相談ください |
|---|---|
| 納期 | 加工対象によって変わりますのでご相談ください |
カタログ
取扱企業
セイコーフューチャークリエーション株式会社
業種：試験・分析・測定 所在地：千葉県 松戸市高塚新田 563
セイコーフューチャークリエーション株式会社は受託分析、研究開発、生産技術、FAシステムを中核とした事業を行っています。お客様の課題解決に向けた各種サービスを提供します。
受託分析サービスに関しては時計やICを主とした豊富な分析経験から、特に微小な部品が得意分野です。
集束イオンビーム装置（FIB）を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡（AFM）他による微小部形態観察、示差走査熱量計（DSC）による材料性質の分析などナノレベルの微細加工技術と分析・解析技術でお客様の課題解決に取り組みます。
※セイコーフューチャークリエーション株式会社は2022年7月1日にセイコーアイ・テクノリサーチ株式会社から社名を変更いたしました。
FIBによる微小対象物(ICコンタクト部)の断面作製 へのお問い合わせ
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FIBによる微小対象物(ICコンタクト部)の断面作製
