カテゴリー

【FIB】FIBによるナノレベル高精度加工

セイコーフューチャークリエーション株式会社
最終更新日: 2023年07月06日

FIB装置でSi基板上にナノレベルの加工をマスクレスで行えます

FIB(Focused Ion Beam:集束イオンビーム)装置のエッチング加工でマスクレスで任意形状作成できます。

この事例ではでは以下サイズで50nmステップ毎のピラー作製を紹介しています。
・円形:φ5μm
・ピラーの高さ:700nm/650nm/600nm
・ピラーの径:φ500 nm

ぜひPDF資料をご一読ください。

また弊社はFIBによるICおよびLSIの回路修正を目的とした配線修正も強みとしております。

具体的には以下
・配線の切断
・配線の接続
・特性評価用のテストパッドの作製
を短納期で行い、お客様のICおよびLSI開発のお手伝いをさせていただいております。

こちらもお気軽にご相談いただければ幸いです。

その他の事例はこちらから閲覧可能です。
https://www.seiko-sfc.co.jp/analysis-service/case.html

※詳細が必要であればお気軽にお問い合わせ下さい。
セイコーフューチャークリエーション 公式HP
https://www.seiko-sfc.co.jp/

基本情報

本事例のサイズや形状以外に加えて下記にも対応しますのでぜひお声掛けください。
●曲面形状加工やその他特殊形状
●高硬度材質(ダイヤモンド、サファイア)
●光学素子やナノインプリントの金型への応用

お問い合わせ

カタログ

【FIB】FIBによるナノレベル高精度加工

取扱企業

セイコーフューチャークリエーション株式会社

業種:試験・分析・測定  所在地:千葉県 松戸市高塚新田 563

セイコーフューチャークリエーション株式会社は受託分析、研究開発、生産技術、FAシステムを中核とした事業を行っています。お客様の課題解決に向けた各種サービスを提供します。

受託分析サービスに関しては時計やICを主とした豊富な分析経験から、特に微小な部品が得意分野です。
集束イオンビーム装置(FIB)を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡(AFM)他による微小部形態観察、示差走査熱量計(DSC)による材料性質の分析などナノレベルの微細加工技術と分析・解析技術でお客様の課題解決に取り組みます。

※セイコーフューチャークリエーション株式会社は2022年7月1日にセイコーアイ・テクノリサーチ株式会社から社名を変更いたしました。

【FIB】FIBによるナノレベル高精度加工 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

【FIB】FIBによるナノレベル高精度加工