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SVCR3160

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月21日
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真空対応3軸円筒座標型ロボット

SVCR3000シリーズには、160 mm, 190 mm, 260 mm, 330 mmのアームバリエーションがあり、SVCR3160は160mmバージョン。
真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。また、
アーム関節部には、磁性流体シール装備、真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
クリーン対応としてアーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備しています。
全軸2相ステッピングモータを採用、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送を可能にしています。なお、モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能を可能にしています。ウェーハ保持には、落し込み、自重グリップチャックを採用しており、被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能となっています。

基本情報

被搬送物 ～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式落とし込み/自重グリップ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 全軸2相ステッピングモータ
動作範囲 アーム第3関節中心：320 mm
旋回角度(θ軸)：330度
上下ストローク(Z軸)：20 mm
搬送速度 アーム(R軸)：300 mm/sec
旋回角度(θ軸)：120度/sec
上下ストローク(Z軸)：20 mm/sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
質量 ロボット本体 約25 kg
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 8A

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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