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スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。GCR4210-300/320/500（昇降距離による）およびモータタイプによりAM（ACサーボモータ）、PM（ステッピングモータ）のタイプがある。また、チャック部に旋回機能を持たせた製品があります。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送。従来機GHR4000タイプと比較して1.8倍高速になっています。ウェーハ保持は真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャックに対応。チャック材質もCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能となっています
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

基本情報

ロボット型式 GCR4210-300-AM／PM
被搬送物～300mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式水平多関節型
制御軸 4軸
モータタイプ ACサーボモータ
動作範囲ワーク中心到達距離：760 mm
旋回角度(θ軸)：335度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度アーム(R軸)：AM：635 mm/0.8 sec、PM　730 mm/1.0sec
旋回角度(θ軸)：AM：335度/1.0 sec、PM:240度/1.0sec
上下ストローク(Z軸)：AM：300 mm/0.9sec、PM:200mm/1.0sec
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ電源：単相 AC200V±10% 2 kVA
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量ロボット本体約37 kg

価格帯	50万円以上 100万円未満
納期	1週間以内

お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維所在地：広島県福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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