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GCR4280

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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4軸水平多関節型クリーンロボット

製品特徴
スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット。
300mmウェーハ対応製品と450mmウェーハにまで対応できる製品がある。大口径ウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して走行軸なしで搬送できます。
水平移動できる軸があり、各基板に対して搬送可能。
450mmウェーハのEFEMの場合は2Port対応、300 mmの場合は3Port対応です。
全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。
また、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送している。ウェーハ保持は真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックが使用できます。

基本情報

被搬送物 ～450 mmウェーハ, 小型ガラス基板
ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式 水平多関節型
制御軸 4軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：450mm対応：863 mm／
旋回角度(θ軸)：450mm対応：335度
上下ストローク：(Z軸)450mm対応：300 mm
搬送速度（平均）アーム(R軸)：450mm対応：900 mm/sec
旋回角度(θ軸)：450mm対応：250度/sec
上下ストローク(Z軸)：450mm対応：300 mm/sec
搬送速度（最大）アーム(R軸)：450mm対応：1300 mm/sec
旋回角度(θ軸)：450mm対応：350度/sec
上下ストローク(Z軸)：450 mm/sec
分解能 アーム(R軸)：0.0018度
　　　　 旋回角度(θ軸)：0.0015度(450mm対応のみ)
上下ストローク(Z軸)：1.96μm
搬送レベル 669 mm(ベース取付面よりチャックの搬送面まで)
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ 電源：単相 AC200V±10% 2 kVA
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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