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MCR3280C

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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大口径ウェーハ搬送3軸円筒座標型クリーンロボット

シングルアームタイプ。EFEMや半導体製造装置内、検査装置等のウェーハを高速に搬送することができます。
全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータを使用しているため、ウェーハ以外にもトレイ、小型のガラス基板などを搬送することができます。また、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送が可能になっている。従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。
ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

基本情報

ロボット型式 MCR3280C-300-AM
被搬送物 450 mmウェーハ
ウェーハ保持方式 チャックによるエッジグリップで保持
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 3軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：1025.2 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度 アーム(R軸)：560 mm/sec
旋回角度(θ軸)：170度/sec
上下ストローク(Z軸)：200 mm/sec
分解能 アーム(R軸)：11.5μm以下
旋回角度(θ軸)：0.0013度
上下ストローク(Z軸)：1.96μm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ 電源：AC200V エア：0.30MPa以上

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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