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株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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4軸円筒座標型クリーンロボット

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボット。
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。到達距離312mm (第3関節中心距離)。昇降距離200mm/300mm。可搬質量3kg (第3関節換算)
アームバリエーションは95mm、156mm。
全軸2相ステッピングモータを使用し、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送が可能になっています。
ウェーハ保持は真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック。チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能となっています。

基本情報

リストブロック SART00188
チャック SC3-IW-240
被搬送物 ～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式チャックによる真空吸着
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ ステッピングモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：562 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度 アーム(R軸)：500 mm/sec
旋回角度(θ軸)：170度/sec
上下ストローク(Z軸)：100 mm/sec
クリーン度 ISO Class2 (ISO14644)
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 10A
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1週間以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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