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STWCR4160

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月22日
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防水対応4軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSTWCR4000シリーズです（300 mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。保護等級IP64における酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。
　ツインアームタイプ。到達距離315 mm (第3関節中心距離)、昇降距離300mm、可搬質量3kg以下(第3関節換算)。アームバリエーションは160mm/200mm。アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しています。アーム関節部防水構造にVシール使用しています。部品の接合部はバイトンパッキンによりシール、Z軸部防水構造にジャバラを使用しています。
全軸2相ステッピングモータ使用、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度搬送を実現しています。ウェーハ保持は真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックに対応。
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

基本情報

被搬送物 ～300 mmウェーハ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ 2相パルスモータ
動作範囲 アーム第3関節中心：315 mm
旋回角度(θ軸)：340度
上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度(平均) アーム(R軸)：280 mm/sec
旋回角度(θ軸)：90 度/sec
上下ストローク(Z軸)：90 mm/sec
搬送速度(最高) アーム(R軸)：550 mm/sec
旋回角度(θ軸)：120度/sec
上下ストローク(Z軸)：120 mm/sec
分解能 アーム(R軸)：126 μm以下
旋回角度(θ軸)：0.0045度
上下ストローク(Z軸)：6.25 μm以下
繰り返し精度 ±0.2 mm以内
ユーティリティ 電源：DC24V±10% 11A
正圧：0.15 MPa

価格帯 50万円以上 100万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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