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STVCR4160

株式会社ジェーイーエル
最終更新日: 2020年04月23日
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サーボモータ仕様4軸円筒座標型クリーンロボット

真空対応4軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。従来型STVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更に従来型STVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータを使用、原点復帰が不要です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送できます。2相ステッピングモータ仕様も選択可能。
ツインアーム構造で、アームバリエーションは160mm,190mm,260mm。
ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮している。アーム関節部には、磁性流体シール装備。真空シールは磁性流体シール及びベローズ使用。
チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能。保持方法は、落し込み、自重グリップチャックに対応。

基本情報

ロボット型式 STVCR4160-050-PM
被搬送物 ～300 mmウェーハ
機械構造形式 円筒座標型
制御軸 4軸
モータタイプ 全軸ACサーボモータ
動作範囲 ワーク中心到達距離：600 mm
旋回角度(θ軸)：330度
上下ストローク(Z軸)：50 mm
搬送速度 アーム(R軸)：520 mm/2.0 sec
旋回角度(θ軸)：330度/2.7 sec
上下ストローク(Z軸)：50 mm/1.5 sec
分解能 アーム(R軸)：4.91 μm以下
旋回角度(θ軸)：0.00088度
上下ストローク(Z軸)：0.488μm
繰り返し精度 ±0.1 mm以内
クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
ユーティリティ 電源：単相 AC200V±10% 1kVA

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

株式会社ジェーイーエル

業種：繊維  所在地：広島県 福山市草戸町 2-8-20

　ジェーイーエルは1993年の設立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボットのメーカーとして実績を残してきた。累計出荷台数は2019年度には2万2,000台を上回っている。
　拡大する需要に対応するため、現在、広島県福山市に新工場を建設している。
　本社を核として、国内に東京営業所、JEL高知の生産・販売拠点があり、海外は台湾支店及び韓国支店をはじめ、韓国、中国、台湾、シンガポールの海外代理店及び海外協力店を通じて、ネットワークを展開している。

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