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LIGA微細加工

田口電機工業株式会社
最終更新日: 2020年11月26日
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LIGA（Lithograph Galvanoformung und Abformung）微細精密加工とはエックス線リソグラフィの技術と精密めっき加工技術を融合し、超微細加工を行う技術

佐賀県立の九州シンクロトロン光研究センターにおける高輝度エックス線を利用して直径0.1ミリ以下のマイクロギアやマイクロ金型などのパーツを高精度に製造する技術です。めっきというローテクの技術とリソグラフィの光の技術が融合し、最先端の微細加工技術として今後のナノテクノロジーを支える重要な部品やメカニカルな機構の研究開発を行っています。

基本情報

導電性を付与したベースにフォトレジストを100～500μm塗布し、微細パターンを描画したフォトマスクをセットして、その上からUV紫外光やシンクロトロン光エックス線を照射して、エッチング現像して出来たレジスト構造体に電鋳めっき加工を行います。
めっきがレジスト上部まで100～500μm厚付けした後めっきを止めて、残ったレジスト構造体を専用溶剤でエッチング溶解するとベースにめっきが乗ったものができあがります。
これをそのまま金型としてナノ微粉体（セラミックス、樹脂）を成形するとナノ部品が完成します。
フォトマスクを反転させたもので製作すると、できあがるのは微細な歯車であるマイクロパーツが完成し、これらをマイクロマシンやMEMSの構成部品として使用することが出来ます。
医療用高解像度Ｘ線グリッド、マイクロメッシュなどの加工も行っています。

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取扱企業

田口電機工業株式会社

業種：産業用電気機器  所在地：佐賀県 三養基郡基山町小倉 399

田口電機工業は最新の表面処理技術を専門とする『めっきのデパート』です。

半導体製造装置、液晶製造装置、自動車、弱電製品、電子部品、建築部品、食品機械、電力機器、通信機器、航空機部品、医療機器、エネルギー関連など様々な分野の製品や部品に対し、高品質、高精度の表面処理を行っています。また、研究開発も盛んに行い、特にシンクロトロン光エックス線を利用するナノテクノロジーＬＩＧＡ微細めっき加工技術の研究開発や、水素エネルギー関連技術、燃料電池、マイクロマシン・MEMS分野などへの表面処理技術の応用開発や、有害物質の対応、鉛フリーなどの環境対策も積極的に展開しております。

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