カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- サセプタ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
- SASU(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル/光ファイバ
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- 熱電対/パイロメータ
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- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン(半導体グレード)
- SUS(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
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- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
加熱型スピンコーター
試料台の加熱機能があるスピンコーターです。
試料台の加熱機能があるスピンコーターです。
本体カップは断熱材で構成されていますので、研究室内の
グローブボックスにも収容が可能です。
液受け皿はテフロンコーティングされており、容易に清掃が可能です。
各種オプションもあり、ユーザー様の希望に合わせた製作を致します。
基本情報
試料サイズ:10~50mm角
吐出液 :レジスト相当
試料台 :試料サイズに適応した試料台1個付属 アルミ製
回転制御 :サーボモーター使用
回転段数 :8段階、16パターンメモリー(SC-158の場合)
回転表示 :デジタル液晶画面表示(SC-158の場合)
回転数 :0~6000rpm(無負荷)
材質 :本体 アルミ材
カップ径 :内径φ160mm 受け皿付き
フタ :PEEK材
排気 :無し
設定温度 :~250℃(実際の試料台温度は ~180℃となります)
試料固定 :真空吸着(真空ポンプ使用の場合)
電源入力 :AC100V 50/60Hz
価格帯 | 100万円以上 500万円未満 |
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納期 | 2~3ヶ月(モーター及びヒーター在庫状況によります) |
カタログ
取扱企業
株式会社イーエッチシー
業種:産業用機械 所在地:東京都 八王子市高倉町 66-3
研究開発用途の組立装置・評価装置メーカー
①液晶 ・センサ関連
・配向装置
・塗布装置
・パネル組立装置
②有機EL関連 ・輝度寿命評価装置
・初期特性評価装置
③太陽電池 ・評価装置
④量子ドット ・評価装置
などを取り扱っております。
加熱型スピンコーター へのお問い合わせ
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加熱型スピンコーター