カテゴリー
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- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
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- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
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- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
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- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- ガラス基板（OLED用）
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- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
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- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
[第45回優秀論文賞受賞記念講演] SiO2 で挟まれたSi 薄膜の横方向結晶成長における安定{001}<100>方向への結晶方位の回転傾向
島根大、葉 文昌
Si膜
基本情報
Si薄膜の溶融結晶化に関する研究は、結晶方位(CO)の制御と無粒界化を目標に進められてきた。マイクロシェブロンレーザー走査(μCLS)法により、Si膜中に約8μm幅の単結晶帯を数mm以上成長させることに成功した。この研究では、SiO2-capped Si膜が(001)方向に結晶化するメカニズムと、非(001)結晶が導入される過程を解明した。60nm-Si膜では、前傾方向のピッチ回転が観察され、これは固化時の横方向膨張に起因する。200nm-SiO2-Cap付き60nm-Si膜では、(001)<100>方向が安定であり、他の(001)結晶は回転してこの方向に収束する。特定の条件下で双晶核が発生しやすく、これが(001)結晶の占有率に影響を与えることが分かった。この知見は、Si薄膜の結晶化制御において重要な意味を持つ。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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[第45回優秀論文賞受賞記念講演] SiO2 で挟まれたSi 薄膜の横方向結晶成長における安定{001}<100>方向への結晶方位の回転傾向
