カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
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- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
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- ヒータ（蒸着装置向け）
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- マスフローコントローラ
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- KrFレジスト／現像液
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- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
Ga2O3 (010) FinFETs with On-Axis (100) Gate Sidewalls
情通研、Zhenwei Wang
Ga2O3
基本情報
本研究では二重ゲーティングによる強力な静電制御を備えた垂直Ga2O3FinFETが、高電力電子アプリケーションにおいて大きな可能性を示しており、従来のGa2O3（001）基板上のFinFETは、単斜晶構造のために14度オフアクシスのゲート側壁を持ち、デバイスの性能に不利な影響を及ぼすダングリングボンドとインターフェース状態が生じていた。しかし、Ga2O3（010）基板上で製造されたオンアクシス（100）ゲート側壁を持つFinFETは、これらの問題を解決し、さらに優れた性能を発揮することが示された。具体的には、特定のオン抵抗（Ron）は6.9 mΩcm2、サブスレッショルドスロープ（SS）は82 mV/decade、オン/オフ比は約109と非常に優れた数値を記録した。Vthは+2 Vで、初回スイープ後に1.7 VのVthシフトが観察されたものの、その後の転送曲線は安定した。この結果から、Ga2O3（010）基板上のFinFETは、高品質な半導体/誘電体インターフェースを持ち、高い電気的性能と安定性を実現しており、今後の高電力電子アプリケーションにおける有望な技術であることが示唆されている。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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