カテゴリー
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- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
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- イオンドーピングガス
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- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
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- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
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- ポリイミド樹脂
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- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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- 蒸着材料
レーザー励起光電子顕微鏡で可視化したフォトレジスト上の潜像と電場分布
東大院新領域、藤原 弘和
潜像
EUVリソ
基本情報
潜像は、リソグラフィ工程で露光により形成される化学的なパターンであり、通常は現像後に検査される。本研究では、レーザー励起光電子顕微鏡（laser-PEEM）を用いてポジ型フォトレジストAR-P3170の潜像を可視化し、概念実証を行った。露光プロセスにおいて、ドーズ量を増加させると潜像コントラストが向上し、線幅の変化が確認された。また、光電子スペクトルの変化から露光領域の正帯電が明らかとなり、極端紫外線リソグラフィにおける二次電子のダイナミクス理解につながることが期待される。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 港区中央 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2025年には創業35年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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