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超伝導量子ビット制御用クライオCMOS における高電圧nMOSFET の低温特性

グローバルネット株式会社
最終更新日: 2025年08月19日

慶大理工、押尾 世文

超伝導量子ビット
Cryo-CMOS

基本情報

 超伝導量子コンピュータの開発において、冷凍機内で量子ビットを制御するクライオCMOSの利用が期待されている。本研究では、65nm CMOSのHV-nMOSFETの極低温特性を評価。4K環境での測定結果から、低温時に閾値電圧付近で飽和電流が異常増加する現象を確認し、インパクトイオン化と基板のフリーズアウトによる高抵抗化が原因と推察された。また、戻り測定時にはJoule heatingによる温度上昇でヒステリシスが発生。これらの知見を活かして改良を進めることで、低温動作時のトランジスタ特性向上に貢献する可能性がある。

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グローバルネット株式会社

業種:産業用電気機器  所在地:東京都 港区中央 1-2-10 堀川ビル6F

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1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。

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