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【専門書籍】プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた 反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例

サイエンス＆テクノロジー(株)株式会社
最終更新日: 2026年08月28日
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～「所望の薄膜」を形成するプラズマCVDプロセスの確立に向けて～

電気回路、電磁気学、放電工学、流体力学、化学工学、表面科学……様々な学問体系が絡み合う、複雑なプラズマCVDを「使いこなしたい！」と願う技術者・研究者へ

●「こういう膜質にしたい」という要望はあるものの、取るべき手段やその理由がわからない人に
●「この数値が関係しそうだ」と予想はつくが、実際にはどうしたらいいかわからない人にも
● または、自社装置だけでなく「こうしたらいいですよ」と成膜方法も提案できるようになるためにも

★１～４章末の「豆知識」は知らない用語の意味＆より理解を深める情報を参照・確認するために、ご活用ください★

基本情報

◇発刊日：2018年9月27日
◇体裁：B5判並製本 328頁
◇価格(税込)：55,000円　※各種割引特典有
◇ISBNコード：978-4-86428-170-6
◇Cコード：C3058

◇目次概要
第１章 目的に応じた成膜方式の選定
第２章 適切に制御するための「物理的側面」の理解
第３章 適切に制御するための「化学的側面」の理解
第４章 最終的な膜構造に直結する表面反応の機構
第５章 成膜条件の最適化において考慮すべき条件
第６章 成膜プロセス最適化への影響因子および成膜事例
巻末付録 「理解を助ける一問一答」

価格帯 1万円以上 10万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

サイエンス＆テクノロジー(株)株式会社

業種：サービス業  所在地：東京都 港区浜松町1-2-12 浜松町F-1ビル7F

「情報を必要とする人」と「情報を持つ人」の結び目に

現在では、多くの情報を誰でも容易に得ることができるようになりました。しかし、依然として、“自分が本当に必要な正確な情報” は獲得できない状況にあることに変わりはありません。また、それを得るためには、業種・企業・産官学・社会的立場・人脈・年齢・物理的な距離の問題など、乗り越えなければならない多くの壁があることも事実です。
一方、社会へ貢献できる貴重な情報を持ちながらも、必要な人々へ伝達・発信することができないという壁も存在しています。当社は、皆様に代わって「壁」を超え、必要とする人と情報を与える人を結びつける役割を担います。

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